羅茨真空泵是由羅茨鼓風機演變而來。羅茨鼓風機在吸入口爲正常大氣壓的情況下，将氣體加壓成0.1~2kg/cm出口壓強，作爲冶煉工業等的鼓風使用。羅茨真空泵在結構和原理上都與羅茨鼓風機相似，故沿用瞭相同的名稱。
二十世紀中葉.由於(yú)真空技術的發展，尤其是由於(yú)真空冶煉高級合金的需要，要求在冶煉真空系統中，解決在真空度爲1?10負二次方Torr工作時具有大抽速的新型其空設備。同時，适宜低真空工作的油封機械真空泵和适宜高真空工作的油擴散泵。都不能很好地擔負這一任務。因爲油封機械真空泵在1-10負二次方Toor時，抽速嚴重下降，工作效率很低，如勉強使之承擔大抽速，需要多台並(bìng)聯工作，必然造成很大浪費。至於(yú)高真空适用的油擴散泵，在這樣的入口壓強下尚不能工作。所以，在這種情況下必須設計出抽速大，效率高的新型真空泵。
1944年在徳國出現的羅茨真空泵，就是爲适應這一需要而誕生的産(chǎn)品。1974年成功地将羅茨泵用於(yú)真空冶煉，以後發展頗爲迅速。我國從1960年開始設計和試制這種泵，二十多年來已有相當發展，應用較爲普遍，泵的産(chǎn)量和質量都在不斷提高，在我國真空工業中這種泵常稱爲機械增壓泵。
現在，羅茨真空泵的應用範圍越來越廣，幾乎在各種需要大抽速的真空泵系統中都得到應用。國内外真空技術工作者對羅茨真空泵的理論和應用研究，也在不斷地深入。在轉子型線理論上發展瞭(le)圓弧型線、擺(bǎi)線型線和漸開線型線。
在可靠性方面，羅茨真空泵上附設自動調壓旁通閥，用於控制出入口間的壓差，發展瞭(le)液力聯軸器驅動。爲實現按負荷無級調速，發展瞭(le)真空繼電器控制自動啓閉，它能在泵出入口壓差上升負荷增大時，自動保護羅茨真空泵不至因過載而損壞。在配套機組方面，發展瞭(le)羅茨真空泵與水環真空泵、旋片真空泵、分子泵等各類真空獲得設備的配套機組，還發展瞭(le)雙級串聯羅茨真空泵，並(bìng)逐漸擴大應用範圍，充分發揮瞭(le)羅茨真空泵的優越性。HdfJ11.c OM
除作爲機械增壓泵用於在前級預真空泵的配合條件下工作外，還發展瞭(le)直排大氣的羅茨真空泵，開辟瞭(le)單機使用羅茨真空泵的新路子。利用附加的水封或油封裝置，使之不用前級真空泵，通過水封或油封即可向大氣排氣，以單機作爲粗真空，大抽速真空泵使用，代替傳統的水環真空泵、旋片真空泵等，取得瞭(le)提高效率、節約能源的良好效果，並(bìng)在工業技術中，正逐步擴大其應用範圍。
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