雖然液環泵屬於(yú)粗真空泵，但在中國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫藥等領域仍然有著(zhe)很大的市場。液環泵工作原理在國外，液環泵的銷售額占全部真空泵市場的14%，僅次於(yú)幹泵，由於(yú)液環泵大部分是鑄件，加工要求也不高，屬勞動密集型産品，所以國産液環泵在價格上有競争優勢，關鍵是要改進設計，縮小體積，減輕重量，提高效率，降低能耗。
滑閥泵
由於(yú)滑閥泵比較耐用、可靠，國内外各種真空爐、鍍膜機以及幹燥、浸漬等設備都是用滑閥泵作爲前級泵，滑閥泵工作原理但是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大，所以國外各真空廠都在中國尋找合作夥伴。爲瞭(le)使國産滑閥泵能夠進入國際市場，必須進一步降低泵的振動噪聲，杜絕噴油和漏油，提高滑閥泵長期運行的可靠性。
直聯旋片泵
随著(zhe)真空技術在各個應用領域的不斷擴大，直聯旋片泵的需求量越來越大。由於(yú)這種泵數量很多，加工裝配工作量很大，價格又很低，所以有的國外真空廠商在中國建立專業廠。國産中小型直聯旋片泵在技術上已經過關，價格又遠比國外的泵便宜，所以國産泵仍然有競争優勢，關鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質量問題，確保直聯泵在高速、高溫下性能穩定和運行可靠，同時還要進一步提高國産直聯旋片泵抽除水蒸氣的能力。
羅茨泵
從國外羅茨泵生産情況來看，國外幾家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他們各家羅茨泵的銷售額占全球羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%，這5家總計才20%，羅茨泵産量不大，但國外羅茨泵羅茨泵工作原理的價格遠比國産泵要高得多。國内外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統，爲瞭(le)縮短抽氣時間、提高生産效率都配有羅茨泵，所以國産羅茨泵一定要在占領國内市場基礎上設法進入國際市場，這樣就必須進一步降低國産羅茨泵的振動噪聲，徹底解決軸封漏油問題，改進泵的外觀質量，提高泵内的光潔度和清潔度。另外，還要考慮到有些國家和地區的電源頻率爲60Hz，更要確(què)保羅茨泵在提高轉速的情況下長期運行的可靠性。
國内氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快，技術上已經成熟。由於(yú)這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣。爲瞭(le)滿足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯使用，一般前面加一台氣冷式直排大氣羅茨泵，所達到的極限真空要比前級泵高一個數量級。這種泵由於(yú)在泵腔内沒有工作介質，實際上也是屬於(yú)幹泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機轉子動平衡、航空航天空間模拟等裝置上得到瞭(le)長期運行的考驗，所以應該在國内大力推廣和應用。
從(cóng)結構上真空泵大緻可分爲：往複(fù)式真空泵、回轉式真空泵和射流式真空泵等。
1.往複式真空泵。往複式真空泵适用於(yú)抽送不含固體顆粒、無腐蝕性的氣體。這種真空泵的抽氣速率較大，真空度較高。故在化工廠(chǎng)中廣泛應用。但其結構複雜，維修量大。
2.水環(huán)式真空泵。水環(huán)式真空泵是回轉真空泵的一種(zhǒng)。
3.射流式真空泵。射流式真空泵是利用一種壓力較(jiào)高的工作流體來(lái)輸送另一種流體。
射流式真空泵工作流體可分爲高壓蒸汽、空氣(qì)或高壓水，射流式真空泵與所輸(shū)送的流體（液體或氣(qì)體）混合，共同排出。
射流式真空泵的優點是：射流式真空泵結構簡單，工作可靠，便於(yú)操作，不需要任何原動機，在化工生産(chǎn)中常用以抽送有毒或腐蝕性氣體。
水環式真空泵的工作原理是：水環式真空泵圓柱形泵缸内注入一定量的水，星形葉輪偏心地裝在泵缸内，當葉輪旋轉時，水受離心力作用被甩向四周而形成一個相對於(yú)葉輪爲偏心的封閉水環。水環式真空泵中被抽吸的氣體沿吸氣管及接頭由吸氣孔進入水環與葉輪之間的空間，右邊月牙形部分，由於(yú)葉輪的旋轉，這個空間容積由小逐漸增大，因而産生真空抽吸氣體。水環式真空泵随著(zhe)葉輪的旋轉，氣體進入左邊月牙形部分。因葉輪是偏心旋轉的，此空間逐漸縮小，氣體逐漸受到壓縮升壓，氣與水便由排氣孔經接頭沿排氣管進入水箱中，自動分離後再由放氣管放出。水環式真空泵中廢棄的水和空氣一起被排到水箱裏。
水環式真空泵的特點是結構緊湊、工作平衡可靠和流量均勻，所以化工生産(chǎn)中多用來輸送或抽吸易燃、易爆和有腐蝕性的氣體。水環式真空泵由於(yú)葉輪攪拌液體，損失能量大，故其效率很低。
真空泵是指運用機械、物理、化學或物理化學的辦(bàn)法對被抽容器進行抽氣而取得真空的器材或設備(bèi)。淺顯來講，真空泵是用各種辦(bàn)法在某一關閉空間中改善、發生和堅持真空的設備(bèi)。
按真空泵的作業原理，真空泵基本上能夠分爲兩品種型，即氣體捕集泵和氣體傳(chuán)輸泵。其廣泛用於(yú)冶金、化工、食物、電子鍍膜等工況。
跟著(zhe)真空運用的開展，真空泵的品種已開展瞭(le)很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。跟著(zhe)真空技術在出産和科學研究領域中對其運用壓強規模的要求越來越寬，大多需求由幾種真空泵組成真空抽氣體系一起抽氣後才幹滿意出産和科學研究進程的要求，由於真空運用部門所觸及的作業壓力的規模很寬，因而任何一品種型的真空泵都不或許徹底适用於一切的作業壓力規模，隻能根據不同的作業壓力規模和不同的作業要求，運用不同類型的真空泵。爲瞭(le)運用便利和各種真空工藝進程的需求，有時将各種真空泵按其功能要求組合起來，以機組型式運用。
常用真空泵包括幹式螺杆真空泵、水環泵、往複泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和分散泵等，這些泵是我國國民經濟各職業運用真空工藝進程中必不可少的主力泵種。近年來， 伴跟著(zhe)我國經濟繼續高速開展，真空泵相關下遊運用職業堅持快速增長勢頭，同時在真空泵運用領域不斷拓寬等因素的一起拉動下，我國真空泵職業完結瞭(le)繼續穩定地快速的開展。
泵體結構方法
真空泵的泵體的安置結構(gòu)決定瞭(le)泵的全體結構(gòu)。
立式結構的進、排氣口水平設置，設備(bèi)和銜接管路都比較便利。但泵的重心較高，在高速作業時穩定性差，故這種型式多用於(yú)小泵。
卧式泵的進氣口在上，排氣口在下。有時爲瞭(le)真空體系管道設備(bèi)銜接便利，可将排氣口從水平方向接出，即進、排氣方向是彼此筆直的。此時，排氣口能夠從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構重心低，高速作業時穩定性好。一般大、中型泵多選用此種結構。
泵的兩個轉子軸與水平面筆(bǐ)直設備(bèi)。這種結構設備(bèi)空隙簡單操控，轉子設備(bèi)便利，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，光滑組織也相對雜亂。
泵的傳動方法
⑴真空泵作業時發生的振蕩對工藝進程及環境有無影響。若工藝進程不允許，應挑選無振蕩的泵或許採(cǎi)納防振蕩辦(bàn)法。
⑵瞭(le)解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。挑選真空泵時，需求知道氣體成分，針對被抽氣體挑選相應的泵。假如氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上設備(bèi)輔佐設備(bèi)，如冷凝器、除塵器等。
⑶真空泵在其作業壓強下，應能排走真空設備(bèi)工藝進程中發(fā)生的悉數氣體量。
⑷正確(què)地組合真空泵。由於(yú)真空泵有挑選性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿意抽氣要求，需求幾種泵組合起來，互相彌補才幹滿意抽氣要求。如钛提高泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氩有必定的抽速，兩者組合起來，便會使真空設備得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下作業，需求預真空；有的真空泵出口壓強低於(yú)大氣壓，需求前級泵，故都需求把泵組合起來運用。
⑸真空設備(bèi)對油污染的要求。若設備(bèi)嚴厲要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。假如要求不嚴厲，能夠挑選有油泵，加上一些防油污染辦(bàn)法，如加冷阱、障闆、擋油阱等，也能到達清潔真空要求。
⑹正確(què)地挑選真空泵的作業點。每種泵都有必定的作業壓強規模，如：2BV系列水環真空泵作業壓強規模760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強規模内，泵的抽速随壓強而改變(biàn)（詳細改變(biàn)狀況參照泵的功能曲線），其穩定的作業壓強規模爲760~60mmHg。因而，泵的作業點應該選在這個規模之内較爲适合，而不能讓它在25~30mmHg下長時間作業。
⑺真空泵排出來的油蒸氣對(duì)環境的影響怎麽。假如環境不允許有污染，能夠(gòu)選無油真空泵，或許把油蒸氣排到室外。
⑻真空泵的作業壓強應該滿意真空設備(bèi)的極限真空及作業壓強要求。如：某真空枯燥工藝要求10mmHg的作業真空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，最好能到達1mmHg。通常挑選泵的極限真空度要高於(yú)真空設備(bèi)作業真空度半個到一個數量級。
⑼真空泵的價(jià)格、作業及修理費(fèi)用。
真空泵機械設備
⑴真空泵應設備(bèi)在地面健壯鞏固的場所，周圍應留有充分的地步，便於(yú)查看、保護、保養。
⑵真空泵底座下應堅持地基水平，底座四角處(chù)建議墊減震橡皮或用螺栓澆制設備(bèi)，保證真空泵作業平穩，振蕩小。
⑶真空泵與體系的銜接管道應密封牢靠，對小真空泵可選用金屬管路銜接密封墊選用耐油橡膠，對小真空泵可選用真空膠管銜接，管道管徑不得小於(yú)真空泵吸氣口徑，且要求管路短而少彎頭。（焊接管路時應鏟(chǎn)除管道中焊渣，嚴禁焊渣進入真空泵腔。）
⑷在銜接管路中，用戶可在真空泵進氣口上方設備(bèi)閥(fá)門及真空計，随時可查看真空泵的極限壓力。
⑸按電動機标牌規則銜接電源，並(bìng)接地線和設備(bèi)合适規格的熔斷器及熱繼電器。
⑹真空泵通電(diàn)試作業時，須取下電(diàn)機皮帶(dài)，承認真空泵轉向符合規則方向方可投入運用，以防真空泵回轉噴油。（轉向按防護罩指示方向）
⑺關(guān)於(yú)有冷卻水的真空泵，按規則接通冷卻水。
⑻如真空泵口設備(bèi)電(diàn)磁閥時，閥與真空泵應同時動作。
⑼當(dāng)真空泵排出氣體影響作業環境時，可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過(guò)濾器。
泵體結構方法
真空泵的兩個轉子是經過一對高精度齒輪來完結其相對同步作業的。主動軸經過聯軸器與電機聯接。在傳動結構安置上首要有以下兩種：其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側如圖。從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動，這樣主動轉子軸的扭改變形小，則兩個轉子之間的空隙不會因主動軸的扭改變形大而改變，故使轉子之間的空隙在作業進程中均勻。這種傳動方法的最大缺點是：a.主動軸上有三個軸承，增加瞭(le)泵的加工和設備(bèi)難度，齒輪的拆裝及調整也不便；b.全體結構不勻稱，泵的重心傾向電動機和齒輪箱一側。
特色
(1)在較(jiào)寬的壓力規(guī)模内有較(jiào)大的抽速；
(2)轉子具有傑出的幾許對稱(chēng)性，故振蕩小，作業平穩。轉子間及轉子和殼體間均有空隙，不用光滑，沖(chōng)突損失小，可大大下降驅動功率，然後可完結較高轉速；
(3)泵腔内無需用油密封和光滑，可削減(jiǎn)油蒸氣對(duì)真空體系的污染；
(4)泵腔内無緊縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊(còu)，對被抽氣體中的灰塵(chén)和水蒸汽不靈敏；
(5)緊縮比較(jiào)低，對(duì)氫氣抽氣效果差；
(6)轉子外表爲形狀較(jiào)爲雜亂(luàn)的曲線柱面，加工和查看比較(jiào)困難。
氣體傳輸泵
氣體傳(chuán)輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以到達(dá)抽氣目的的真空泵，這種泵基本上有兩品種型：
變容真空泵
運用泵腔容積的周期性改變(biàn)來完結吸氣和排氣進程的一種真空泵，氣體在排出前被緊縮。這種泵分爲往複(fù)式及旋片式兩種：
（1）往複式真空泵：
是運用泵腔内活塞做往複式運動，将氣體吸入、緊縮並(bìng)排出。因而，又稱(chēng)爲活塞式真空泵。
（2）旋片式真空泵：
是運用泵腔内活塞做旋轉運動(dòng)，将氣體吸入、緊縮並(bìng)排出。旋轉真空泵又有如下幾種方法：
①油封式真空泵：它是運用油類密封各運動部件之間的空隙，削減有害空間的一種旋改變(biàn)容真空泵。這種泵通常帶有氣鎮設備(bèi)，故又稱氣鎮式真空泵。按其結構特色分爲如下五種方法。
a旋片式真空泵：轉子以必定的偏疼距裝在泵殼内並(bìng)與泵殼内外表的固定面接近，在轉子槽内裝有兩個（或兩個以上）旋片，當轉子旋轉時旋片能沿其徑向槽往複滑動且與泵殼内壁一直觸摸，此旋片随轉子一起旋轉，可将泵腔分紅幾個可變(biàn)容積。
b.滑閥式真空泵：在偏疼轉子外部裝有一個滑閥，轉子旋轉帶動滑閥沿泵殼内壁滑動和翻滾，滑閥上部的滑閥杆能在可擺(bǎi)動的滑閥導軌中滑動，而泵腔分紅兩個可變(biàn)容積。
c.定片式真空泵：在泵殼内裝有一個與泵内外表接近的偏疼轉子，泵殼上裝有一個一直與轉子外表觸(chù)摸的徑向滑片，當轉子旋轉時，滑片能上下滑動将泵腔分紅兩個可變(biàn)容積。
d.餘擺(bǎi)線式真空泵：在泵腔内偏疼裝有一個型線爲餘擺(bǎi)線的轉子，它沿泵腔内壁轉動並(bìng)将泵腔分紅兩個可變容積。
e.多室旋片式真空泵：在一個泵殼内並(bìng)聯裝有由同一個電(diàn)動機驅動的多個獨立作業室的旋片真空泵。
②幹(gàn)式螺杆真空泵：它是一種不用油類（或液體）密封的變(biàn)容真空泵。
③液環式真空泵：帶有多葉片的轉子偏疼裝在泵殼内，當它旋轉時，把液體（通常爲水或油）抛向泵殼内構成泵殼同心的環液，環液同轉子葉片構成瞭(le)容積周期性改變(biàn)的幾個小容積，故亦稱旋改變(biàn)容真空泵。
④羅茨真空泵：泵内裝有兩個相反方向同步旋轉的雙葉形或多葉形的轉子，轉子間、轉子同泵殼内壁之間均堅持必定的空隙。它歸於(yú)旋改變(biàn)容真空泵。機械增壓泵即爲這種方法的真空泵。
動量傳輸泵
這種泵是依托高速旋轉的葉片或高速射流，把動量傳(chuán)輸給氣體或氣體分子，使氣體接連不斷地從(cóng)泵的入口傳(chuán)輸到出口。詳細可分爲下述幾品種型。
（1）分子真空泵：
它是運用高速旋轉的轉子把能量傳(chuán)輸給(gěi)氣體分子，使之緊縮、排氣的一種真空泵。它有如下幾種型式：
① 牽引分子泵：氣體分子與高速運動(dòng)的轉子相碰撞而取得力量，被送到出口，因而，是一種動(dòng)量傳(chuán)輸泵。
②渦輪分子泵：泵内裝有帶(dài)槽的圓盤或帶(dài)葉片的轉子，它在定子圓盤（或定片）間(jiān)旋轉。轉子圓周的線速度很高。這種泵通常在分子流狀态下作業。
③複(fù)合分子泵：它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯起來(lái)的一種複(fù)合式分子真空泵。
（2）噴發真空泵：
它是運用文丘裏（VENTURI）效應的壓力降出産(chǎn)的高速射流把氣體輸送到出口的一種動量傳輸泵，适於(yú)在粘停留和過渡流狀态下作業。這種泵又可詳細地分紅以下幾種：
①液體噴(pēn)發(fā)真空泵：以液體（通常爲水）爲作業介質的噴(pēn)發(fā)真空泵。
②氣體噴(pēn)發(fā)真空泵：以非可凝性氣體作爲作業介質的噴(pēn)發(fā)真空泵。
③蒸汽噴發(fā)真空泵：以蒸汽（水、油或汞蒸汽）作爲作業介質的餓(è)噴發(fā)真空泵
（3）分散泵：
以低壓高速蒸汽流（油或汞等蒸汽）作爲作業介質的噴發(fā)真空泵。氣體分子分散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中氣體分子密度一直是很低的，這種泵适於(yú)在分子流狀态下作業。可分爲：
①自淨化分散泵：泵液中易揮發(fā)的雜質經專門的機械輸送到出口而不回到鍋(guō)爐中的一種油分散泵。
②分餾式分散泵：這種泵具有分餾設備(bèi)，使蒸汽壓強較低的作業液蒸汽進入高真空作業的噴嘴，而蒸汽壓強較高的作業液蒸汽進入低真空作業的噴嘴，它是一種多級(jí)油分散泵。
（4）分散噴發泵：
它是一種有分散泵特性的單級或多級噴嘴與具有噴發真空泵特性的單級或多級噴嘴串聯組成的一種動量傳(chuán)輸泵。油增壓泵即歸於(yú)這種方法。
（5）離子傳輸泵：
它是将被電離的氣體在電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的效果下，輸送到出口的一種動量傳(chuán)輸泵。
氣體捕集泵
這種泵是一種是氣體分子被吸附或凝結在泵的内外表上，然後減小瞭(le)容器内的氣體分子數目而到達(dá)抽氣目的的真空泵，有以下幾種型式。
吸附泵：它首要依托具有大外表的吸附劑(jì)（如多孔物質）的物理吸附效果來(lái)抽氣的一種捕集式真空泵
吸氣劑泵：它是一種運用吸氣劑以化學結合方法捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或堆積新鮮薄膜方法存在的金屬或合金。提高泵即歸(guī)於(yú)這種方法。
吸氣劑離子泵：它是使被電離的氣體經過電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的效果吸附在有吸氣資料的外表上，以到達(dá)抽氣的目的。它有如下幾種型式。
（1）蒸騰離子泵：泵内被電(diàn)離的氣體吸附在以連續或接連方法提高（或蒸騰）而覆在泵内壁的吸氣資料上，以完結(jié)抽氣的一種真空泵。
（2）濺射離子泵：泵内被電(diàn)離的氣體吸附在由陰極(jí)接連濺射散出來的吸氣資料上，以完結抽氣目的的一種真空泵。
低溫泵：運用低溫外表捕集氣(qì)體(tǐ)的真空泵
按其真空度能夠(gòu)分爲：粗真空、高真空、超高真空三大類(lèi)。
粗真空系
首要用來抽除空氣和其它有必定腐蝕性、不溶於(yú)水、允許含有少數固體顆粒的氣體。廣泛用於(yú)食物、紡織、醫藥、化工等職業的真空蒸騰、濃縮、浸漬、枯燥等工藝進程中。該型泵具有真空度高、結構簡單(dān)，運用便利、作業牢靠、保護便利的特色。
首要用於(yú)粗真空。抽氣量大的工藝進程中。它首要用來抽除空氣和其它無腐蝕，不溶於(yú)水，含有少數固體顆粒的氣體，以便在密閉(bì)容器中構成真空。所吸氣體中允許混有少數液體。它被廣泛運用於(yú)機械、制藥、食物、石油化工等職業中。
是取得粗真空的首要真空設備(bèi)之一。廣泛運用於(yú)化工、食物、建材等部門，特别是在真空結晶、枯燥、過濾、蒸騰等工藝進程中更爲适合。
無油(耐腐蝕)立式往複真空泵是卧式真空泵的更新換代産品，是取得粗真空的首要設備。由於(yú)選用全密封設備，完結瞭(le)曲軸箱和汽缸的徹底隔離；加上活塞環運用瞭(le)自光滑資料，便完結瞭(le)先進的無油光滑。由於(yú)無污水排放，所以該型真空泵特别适用於(yú)化工、醫藥和食物等職業的真空蒸餾、真空蒸騰、真空枯燥、真空濃縮、真空浸漬等工藝進程中。
高真空系
滑閥(fá)式真空泵（Rotary Piston Vacuum Pump）
廣泛運用於(yú)真空拉晶、真空鍍膜、真空冶金、真空熱處理、真空浸漬、真空枯燥、真空蒸餾、真空練泥、航空航天模仿試驗等新資料、新技術、新工藝的出産(chǎn)與研制中。
滑閥真空泵可獨自運用，也可作爲羅茨真空泵、油增壓泵、油分散泵的前級泵的運用。當抽吸對黑色金屬有腐蝕、對真空油起化學反應、含很多蒸汽、很多粉塵的氣體時，需附加設備(bèi)。長(zhǎng)處：相比旋片式真空泵耐用性要高好幾倍且抽氣速率大，價格相對高一點。
用來抽除密閉容器的氣體的基本設備(bèi)之一。它能夠獨自運用，也可作爲增壓泵、分散泵、分子泵的前級泵運用。該型泵廣泛運用於(yú)冶金、機械、電子、化工、石油、醫藥等職業的真空鍛煉、真空鍍膜、真空熱處理，真空枯燥等工藝進程中。
旋片式真空泵( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )
具有結構緊湊，體積小，重量輕，噪音低，振蕩小等長處。所以，它适用於(yú)作分散泵的前級泵，並(bìng)且更适用於(yú)精密儀器配套和實驗室運用。例如：質譜儀器，冰箱流水線，真空冷凍枯燥機等。
羅(luó)茨真空泵( Roots Vacuum Pump )
是一種旋轉式變(biàn)容真空泵，須有前級泵配合方可運用在較寬的壓力規模内，有較大的抽速，對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不靈敏。廣泛用於(yú)冶金、化工、食物、電子鍍膜等職業。首要用於(yú)真空機組的主泵，需求用前級泵輔佐。如：水環式真空泵，滑閥真空泵，立式無油真空泵，分子真空泵等。國内最大羅茨真空泵堅持紀錄爲20000L/S。
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